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process modeling of chemical mechanical planarization
Jihong Choi (Autor)
·
vdm verlag dr. muller aktiengesells
· Libro Físico
process modeling of chemical mechanical planarization - jihong choi
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Reseña del libro "process modeling of chemical mechanical planarization"
chemical mechanical planarization (cmp) is one of the key enabling technologies for modern ic fabrication. however, mainly due to the high complexities coming from various interactions among mechanical reactions and chemical reactions, its fundamental ...
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