Name: development and assessment of wafer transport sequencing rules for clustertools
Price: 44.57 USD
Availability: InStock
Author: jozsef daniel benke
ISBN: 9783639032543

portada development and assessment of wafer transport sequencing rules for clustertools

Formato

Libro Físico

Editorial

vdm verlag dr. muller aktiengesells

Autor

jozsef daniel benke

N° páginas

104

ISBN

3639032543

ISBN13

9783639032543

Categorías

Ciencias de la computación

development and assessment of wafer transport sequencing rules for clustertools

Jozsef Daniel Benke (Autor) · vdm verlag dr. muller aktiengesells · Libro Físico

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Reseña del libro "development and assessment of wafer transport sequencing rules for clustertools"

cluster tools have become an important tool type in the semiconíductor industry during the last decade. they integrate several process chambers into a tool and enable sequential process steps within one tool and/or increase capacity and availability b ...