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portada rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)
Formato
Libro Físico
Idioma
Inglés
N° páginas
380
ISBN
0306450542
ISBN13
9780306450549

rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)

Hesketh,Borisenko (Autor) · springer publishing map · Libro Físico

rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés) - hesketh,borisenko

Libro Físico

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Reseña del libro "rapid thermal processing of semiconductors (en Inglés)"

rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. borisenko and hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. they thoroughly cover the work of international investigators in the field.

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